国内某知名半导体设备制造商宣布，其最新研发的国产高端光刻机成功实现0.001mm级运动控制精度，这一突破性进展的背后，德国精密传动品牌BOWEX联轴器发挥了关键作用。该设备采用的BOWEX零背隙膜片联轴器，成功解决了高精度运动控制中的传动误差难题。
作为全球精密传动领域的领导者，BOWEX联轴器凭借其卓越的性能表现，正在助力中国半导体设备突破技术封锁。据悉，此次合作中采用的BOWEX KX系列联轴器，采用专利的双层不锈钢膜片设计，在保证超高扭转刚度的同时，完全消除了传动过程中的回程间隙。设备制造商技术总监王工表示："在3000rpm的高速运转下，BOWEX联轴器仍能保持惊人的0.001mm定位精度，这为我们的光刻机性能提升提供了关键保障。"
不同于普通联轴器，BOWEX产品采用了航空级材料和特殊的热处理工艺。其独特的结构设计不仅能补偿轴向、径向和角向偏差，还能有效抑制高速运转时产生的振动。半导体行业协会专家指出："在7nm以下制程工艺中，设备振动控制至关重要。BOWEX联轴器的应用，使国产设备的稳定性和可靠性达到了国际先进水平。"
值得关注的是，此次合作中，BOWEX工程师还针对中国客户的特殊需求，开发了定制化的连接方案。通过将BOWEX联轴器与KTR胀紧套配合使用，实现了伺服电机与直线导轨的无键连接，进一步提升了系统的传动精度和稳定性。这种创新组合已被证明能显著延长设备维护周期，降低生产成本。
市场分析显示，随着中国半导体产业自主化进程加速，高端精密传动部件的需求正快速增长。BOWEX中国区总经理表示："我们正加大在华投资力度，计划在上海建立亚太研发中心，以更好地服务中国客户。未来三年，我们将推出更多针对中国市场的定制化产品。"
业内人士认为，BOWEX联轴器在国产高端装备中的成功应用，不仅打破了国外技术垄断，更为中国智能制造的发展提供了关键技术支持。随着5G、人工智能等新兴技术的快速发展，高精度传动技术将迎来更广阔的应用前景。BOWEX联轴器凭借其卓越性能，有望在中国高端制造领域发挥更加重要的作用。
